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應(yīng)用領(lǐng)域

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在器件批量生產(chǎn)之前,充分了解制造器件所涉及的工藝至關(guān)重要,這就要求對制成中每個工藝下納米甚至原子尺度的器件的化學和結(jié)構(gòu)信息了然于心。能譜分析(EDS)和電子背散射衍射(EBSD)技術(shù)的發(fā)展,提供了一種可以快速、準確地了解制造工藝。

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