GLA草狀氧化鋁，微結構表面陷光效應，相較于 干涉AR鍍膜，降低了整體鍍膜厚度（時間），并有效減少大角度入射光的反射。
A1000PC是面向于工業化大規模生產的原子層沉積系統，低溫鍍膜設計可以在各種3維基板上沉積高質量光學薄膜。
A800LS的小型化布局設計使得維護等操作在灰區進行，節省了潔凈間占地面積。相應的維護操作更簡便，消耗品使用更少，滿足工業化所需的高重復性和高可靠性鍍膜。
光馳A800TBS原子層沉積系統是專業應用于晶圓級光學領域的工業化批量式ALD，例如：光柵間隙填充，三維表面修飾，器件封裝和沉積增透減反膜。
應用于Mini/Micro LED, OLED, Power Device, VCSEL, Wafer Optics
關注官方微信公眾號
Copyright ? 2023 光馳半導體技術（上海）有限公司 滬ICP備2023009503號-1 滬公網安備31011302007876
<xmp id="wicq8">
滬公網安備31011302007876