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A800LS的小型化布局設(shè)計使得維護等操作在灰區(qū)進行，節(jié)省了潔凈間占地面積。相應(yīng)的維護操作更簡便，消耗品使用更少，滿足工業(yè)化所需的高重復(fù)性和高可靠性鍍膜。
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