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光馳A800TBS原子層沉積系統是專業應用于晶圓級光學領域的工業化批量式ALD，例如：光柵間隙填充，三維表面修飾，器件封裝和沉積增透減反膜。
A800DAC是滿足先進制程、擁有完整Cluster系統的原子層沉積鍍膜設備。可制備滿足功率器件、Micro-OLED、先進封裝等半導體或泛半導體市場要求的高絕緣、優阻隔、低雜質的鈍化和/或封裝等多種先進薄膜應用。
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