應用領域

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Mini LED/Micro OLED

Mini LED的金屬電極保護，有效防止金屬遷移，延長LED...

A1000PC是面向于工業(yè)化大規(guī)模生產(chǎn)的原子層沉積系統(tǒng)，低溫鍍膜設計可以在各種3維基板上沉積高質量光學薄膜。

A800LS的小型化布局設計使得維護等操作在灰區(qū)進行，節(jié)省了潔凈間占地面積。相應的維護操作更簡便，消耗品使用更少，滿足工業(yè)化所需的高重復性和高可靠性鍍膜。

光馳A800TBS原子層沉積系統(tǒng)是專業(yè)應用于晶圓級光學領域的工業(yè)化批量式ALD，例如：光柵間隙填充，三維表面修飾，器件封裝和沉積增透減反膜。

應用于Mini/Micro LED, OLED, Power Device, VCSEL, Wafer Optics

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