A800LS的小型化布局設計使得維護等操作在灰區進行，節省了潔凈間占地面積。相應的維護操作更簡便，消耗品使用更少，滿足工業化所需的高重復性和高可靠性鍍膜。
A800LS的小型化布局設計使得維護等操作在灰區進行，節省了潔凈間占地面積。相應的維護操作更簡便，消耗品使用更少，滿足工業化所需的高重復性和高可靠性鍍膜。
為LED產業而生的工業化設計，并兼容多種尺寸晶圓
與工業4.0配套的先進PLC控制系統
高準確性工藝控制
更短的ALD循環時間以及更少的前驅體源消耗量
更高的產量，更低的生產消耗
更優的薄膜均勻性和重復性
4/6寸標準晶圓可裝載多達150/50片
70℃ – 300℃
Al2O3薄膜：鋁源、水源位置標準配置，可選配臭氧等前驅體源
超大裝片量，鍍膜時間短
優于1.0%的薄膜均勻性(1σ, 5mmEE).
極具競爭力的設備性能和薄膜均勻性.
保形覆蓋率 ＞94%
連續無針孔的氧化鋁阻隔薄膜，優越的水汽阻隔能夠極大提升Mini-LED壽命；而且薄膜有著高擊穿電壓性能.
埃米級的高精度薄膜厚度可控性，高生產可靠性.
手動裝片
半自動裝片
全自動裝片
滬公網安備31011302007876