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A1000PC是面向于工業(yè)化大規(guī)模生產(chǎn)的原子層沉積系統(tǒng)，低溫鍍膜設(shè)計(jì)可以在各種3維基板上沉積高質(zhì)量光學(xué)薄膜。
A800LS的小型化布局設(shè)計(jì)使得維護(hù)等操作在灰區(qū)進(jìn)行，節(jié)省了潔凈間占地面積。相應(yīng)的維護(hù)操作更簡(jiǎn)便，消耗品使用更少，滿足工業(yè)化所需的高重復(fù)性和高可靠性鍍膜。
光馳A800TBS原子層沉積系統(tǒng)是專業(yè)應(yīng)用于晶圓級(jí)光學(xué)領(lǐng)域的工業(yè)化批量式ALD，例如：光柵間隙填充，三維表面修飾，器件封裝和沉積增透減反膜。
應(yīng)用于Mini/Micro LED, OLED, Power Device, VCSEL, Wafer Optics
A800DAC是滿足先進(jìn)制程、擁有完整Cluster系統(tǒng)的原子層沉積鍍膜設(shè)備。可制備滿足功率器件、Micro-OLED、先進(jìn)封裝等半導(dǎo)體或泛半導(dǎo)體市場(chǎng)要求的高絕緣、優(yōu)阻隔、低雜質(zhì)的鈍化和/或封裝等多種先進(jìn)薄膜應(yīng)用。
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