A800DAC是滿足先進制程、擁有完整Cluster系統的原子層沉積鍍膜設備。可制備滿足功率器件、Micro-OLED、先進封裝等半導體或泛半導體市場要求的高絕緣、優阻隔、低雜質的鈍化和/或封裝等多種先進薄膜應用。
A800DAC是滿足先進制程、擁有完整Cluster系統的原子層沉積鍍膜設備。可制備滿足功率器件、Micro-OLED、先進封裝等半導體或泛半導體市場要求的高絕緣、優阻隔、低雜質的鈍化和/或封裝等多種先進薄膜應用。
在復雜結構的優異附著力和保形性
具備優質抗擊穿性能
具備優質防水氣侵蝕性能
全自動化基板裝載
適用于工業4.0的先進控制系統
經國際認證機構認可的ALD系統設計
在復雜結構的優異附著力和保形性
具備優質抗擊穿性能
具備優質防水氣侵蝕性能
全自動化基板裝載
適用于工業4.0的先進控制系統
經國際認證機構認可的ALD系統設計
滬公網安備31011302007876